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在半導體和新能源領域，超聲和等離子有著眾多應用，例如晶圓的超聲清洗、引線的超聲鍵合、光刻膠的超聲噴涂等，這些應用都是基于超聲這一共性技術(shù)，且存在技術(shù)要求高，國產(chǎn)化率較低的問題。本項目基于這一共性技術(shù)，首先推動核心部件的國產(chǎn)化，并在此基礎上推進整機裝備和解決方案研發(fā)，為我國半導體和新能源的發(fā)展提供專業(yè)服務。目前，本項目組建了一支擁有國際背景的專業(yè)研發(fā)團隊，并著重開發(fā)了超聲錫焊、超聲噴涂和大氣等離子設備，主要用于光電傳感器封裝、器件引腳鍍錫、光刻膠噴涂以及晶圓的等離子清洗等，多款產(chǎn)品屬于國內(nèi)首款設備，并已經(jīng)實現(xiàn)了應用突破。 【展開】 【收起】